全球企業零碳浪潮，台灣半導體產業鏈則追求「零液體排放」減廢也減碳。李長榮化學工業公司（榮化）作為國內最大半導體晶圓洗劑「電子級異丙醇」（EIPA）供應商，研發出「EIPA雙循環回收」技術，可從半導體製程產生的廢液中回收出異丙醇再製，廢液中的水資源也可以作為再生水供自家廠內使用，達到「零液體排放」。榮化表示，自2015年啟動此專案以來，透過雙循環技術已回收約3萬1000噸再生水、減少了約2萬噸碳排放。

異丙醇100%回收再利用 加速半導體產業減碳

隨著氣候變遷問題加劇，世界各國政府、各行各業近年不斷強化減碳力道。而我國的半導體產業供應鏈在世界舉足輕重，減碳能力成為關鍵，如「護國神山」台積電積極扮演減碳領頭羊，不僅從製程減碳，也大量購買綠電、使用再生水。而在半導體製程中，有一項不可或缺的化學洗劑「電子級異丙醇（EIPA）」，目前國內最大EIPA供應商的李長榮化工，也早已著手進行減碳工作。

榮化指出，為了打造綠色供應鏈，自2015年展開EIPA循環回收專案，經過多年成功研發出獨步全球的「EIPA雙循環回收」製程，其中第一道循環是回收半導體製程產生的廢液，重新製為同等級的電子級異丙醇，為化學品循環；過程中，第二道水循環也同時在進行，將廢液中的水完全回收，提供工廠內部重複使用，達到零液體排放。

而半導體製程對EIPA的純度以及潔淨度要求到底有多嚴苛？榮化林園廠廠長陳勻錡解釋，業界要求99.9999%的EIPA純度，潔淨度則是要達到PPb（10的負9次方）至PPt（10的負12次方）的程度。這些EIPA經過製程會變成10倍以上的大量廢液，廢液內除了水還含有雜質、其他化學成分，目前只有榮化研發出的技術能將廢液重新提純，將異丙醇全部回收，再生產為EIPA。

榮化表示，半導體製程越來越高階，也增加EIPA回收的難度，除了再製技術研發，還有廢棄物法令的限制、密閉運輸管線及客戶擔憂設備損害等，經過多年的研發與溝通，目前廢液回收的能力已達到到每月7500噸。

廢水廢液零排放 廢棄化學物質再分離

陳勻錡指出，為了減少取用自來水，該廠本來就有使用自家研發的回收水系統「膜生物反應器設備（MBR）」，而近年的EIPA回收工作也是運用這項系統，將廢液中的水完全回收，繼續提供廠內使用。2015年至今，「EIPA雙循環回收」已產生3萬1000噸再生水，也減少約20379噸碳排放，相當於52座大安森林公園的二氧化碳吸收量。

除了EIPA廢液，其他製程產生的多元醇廢液，過去只能焚化處理，但溶液內含的金屬鹽類焚燒後，可能造成腐蝕現象，也會產生廢氣、廢水等問題。榮化也為此研發「綠色分離」製程，回收含金屬鹽類的多元醇廢液，將其中化學物質提出後再焚化，且焚化過程中產生的蒸汽還可以回歸製程利用，把「垃圾變黃金」之餘，大幅降低了廢水、廢氣及廢棄物的產生。

砸20億研發循環經濟 實現零碳排化工業

榮化表示，為了實現永續經營，內部還進行了多項研發，除了EIPA雙循環系統、廢水處理系統，也開發出可做為紙杯淋膜的「生質琥珀酸」，較傳統的石化琥珀酸減碳100%；另外，為了提升燃料效率、降低溫室氣體排放，還開發出可以循環使用的輕量發泡材料，應用在車輛加工、產品包裝等方面，得以用較少的體積運輸大型貨物，進一步減少材料用量。

榮化強調，為了達到2050年碳中和目標，投入了20億元的研發經費發展可循環利用的綠色材料與技術，但循環經濟不是單一企業可以做到的，希望帶動整體產業，在經濟發展的同時能夠關懷環境。